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在图像传感器和存储产品中应用硅通孔工艺的300 mm光刻与键合技术
三维集成的技术优势正在延伸到大量销售的诸如消费类电子设备潜在应用的产品领域.这些新技术也在推进着当前许多生产工艺的包封能......
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三维集成
硅通孔技术(TSV)
圆片级封装
键合对准
硅熔焊
铜-铜键合
3-D Integration
Through Silicon Via (TSV)
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